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产品信息
产品介绍:
YH-GW系列炉体主要用作半导体、功率器件、集成电路等行业中管式热壁系统的加热装置。可与美国TEMPRESS、美国TYAN、美国THERMCO、荷兰ASM、英国BTU等国外多种型号扩散炉配套(替代进口),采用国外先进的加工工艺,选用进口材料,可处理2-8英寸硅片的扩散工作。
产品特性:
★尺寸:2-8寸 立式/卧式
★加热炉丝:瑞典康泰尔高温炉丝
★保温材料:英国摩根进口保温层
★加热炉丝:瑞典康泰尔高温炉丝
★保温材料:英国摩根进口保温层
★绝缘材料:高精度99瓷拉条绝缘子
★使用温度:350℃—1300℃
★外 壳:不锈钢板/铝板
★使用温度:350℃—1300℃
★外 壳:不锈钢板/铝板
★端 口:优质氧化铝氧化锆
★控温段:3-9段控温
★口 径:Φ80mm—Φ450mm
★控温段:3-9段控温
★口 径:Φ80mm—Φ450mm
★恒温区:100-1600mm