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产品信息
双工位真空烧结炉主要应用于电力半导体器件,烧结,焊接等工艺
设备参数：
★真空室工位数：1-3位
★真空度：1x10-3Pa，加扩散泵为5x10-6Pa
★真空度：1x10-3Pa，加扩散泵为5x10-6Pa
★工作温度：1000℃
★充气的压强：0.5Mpa（可控）
★充气的压强：0.5Mpa（可控）
★不锈钢内胆：Φ150-Φ350x1300
★横温区：600-1200mm±1oC
★横温区：600-1200mm±1oC
★控温方式：三点三段采用进口日本高精度控温器
★控温曲线：9段升降温/999小时
★控温曲线：9段升降温/999小时
★工作方式：自动或手动自由转换
★单点精度：±10℃/24h
★单点精度：±10℃/24h
★正压、负压均采用数字显示表
★双工位交替工作，行走X、Y方向
★双工位交替工作，行走X、Y方向